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자료유형
학술저널
저자정보
공필구 (서울대학교 무기재료공학과) 이종국 (조선대학교 재료공학과) 곽효섭 (대불대학교 화학공학과) 박순자 (서울대학교 무기재료공학과) 김환 (서울대학교 무기재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제6권 제10호
발행연도
1996.1
수록면
999 - 1,006 (8page)

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전기화학법 중 음극환원법을 이용하여 0.005M TiCI4수용액으로부터 수화물 형태의 TiO2박막을 제조하였다. TiCI4수용액에 첨가제로 에탄올을 50vol% 첨가하여 균일한 박막을 얻을 수가 있었으며, 전류밀도와 시간에 따라서 박막의 두께와 미세구조가 변화하였다. 성장속도가 큰 조건에서 얻은 박막은 균질성의 감소로 인하여 건조과정이나 열처리 중 다량의 균열이 발생하였다. 일정한 전류밀도ㅇ에서 반응시간의 증가에 따라 박막의 두께가 직선적으로 증가하였으며, 10mA/$\textrm{cm}^2$의 전류밀도에서 3분 동안 반응시켜 약 0.7$\mu\textrm{m}$ 두께의 우수한 TiO2박막을 얻을수 있었다. 이러한 박막은 80$0^{\circ}C$에서 한 시간 열처리 한 결과, rutile 단일상으로 결정화되었다.

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