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고가연 (조선대학교 재료공학과) 이은구 (조선대학교 재료공학과) 박진성 (조선대학교 재료공학과) 이종국 (조선대학교 재료공학과) 이우선 (조선대학교 전기공학과) 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제7권 제6호
발행연도
1997.1
수록면
479 - 483 (5page)

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Sol-gel법으로 제작한 여러 종류의 Zr/Ti비율을 갖고 있는 PZT박막의 전지적 특성과 신뢰성 특성을 상부 백금 전극을 sputtering으로 증착하고 Ar 기체로 반응성 이온 식각(RIE)방법으로 패턴을 형성한 후 열처리온도의 변화에 따라 조사하였다. Hysteresis loop특성을 되찾게 하였다. Zr/Ti 비율이 감소함에 따라 voltage shift가 증가하였으며 internal field가 없어지는 열처리 온도가 증가하였다. Zr/Ti비율이 감소함에 따라 초기 잔류 분극은 증가하였으나 switching 횟수가 증가됨에 따라 잔류 분극이 급속히 감소하였다.

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