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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
한국광학기기협회 (한국광학기기협회)
저널정보
한국광학기기협회 광학세계 광학세계 제98권
발행연도
2005.1
수록면
68 - 74 (7page)

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최근 실리콘 웨이퍼 등 취성 재료에 있어 표면 거칠기나 마이크로 크랙 등 표면 품질과 함께 형상 정밀도에 대한 요구가 높아지고 있다. 본 고에서는 경취 재료의 초정밀 가공으로서 광학 유리재를 대상으로 하여 다이아몬드 절삭에 의한 임계 절입 깊이를 실험적으로 조사한 결과와 메탈 본드 다이아몬드 지석을 이용한 초정밀 경면 절삭 기술에 대해 소개한다.

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