NO 감지용 SnO 후막소자의 제작 및 특성

손종락; 한종수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 손종락 (경북대학교 공과대학 공업화학과) 한종수 (경북대학교 공과대학 공업화학과)

저널정보: 한국공업화학회 공업화학 공업화학 제8권 제2호

발행연도: 1997.1

수록면: 332 - 338 (7page)

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$NO_2$기체의 감지를 위한 sensor의 원료물질로 $SnO_2$를 사용하였으며 $SnCl_4$ 용액을 암모니아수로 침전시킨 후 공기중에 하소하여 $SnO_2$를 제조하였다. $SnO_2$의 특성을 XRD 및 IR로 연구하였으며 스크린-프린팅법으로 $SnO_2$후막소자를 제작하였다. 하소온도가 높을수록 $SnO_2$의 입자의 크기는 결정의 성장으로 증가하였다. $1000^{\circ}C$에서 하소된 $SnO_2$분말을 가지고 만든 소자를 $700^{\circ}C$에서 열처리하여 제작된 $SnO_2$소자는 동작온도 $250^{\circ}C$에서 $NO_2$기체에 대한 우수한 감지특성과 선택성을 나타내었다.

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손종락

소속기관 경북대학교 공과대학 공업화학과

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 화학공학 일반

논문수 8 이용수 35

한종수

소속기관 경북대학교 공과대학 공업화학과

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 화학공학 일반

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