AlN 세라믹스와 금속간 계면접합에 관한 연구: II. AlN/Cu 접합체의 잔류응력에 미치는 Mo 중간재의 영향

박성계; 김지순; 유희; 염영진; 권영순

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박성계 (울산대학교 재료금속공학부) 김지순 (울산대학교 기계부품 및 소재 특성평가연구센터) 유희 (울산대학교 기계자동차공학부) 염영진 (울산대학교 기계자동차공학부) 권영순 (울산대학교 기계부품 및 소재 특성평가연구센터)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제9권 제10호

발행연도: 1999.1

수록면: 970 - 977 (8page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

1999

AlN 세라믹스와 금속간 계면접합에 관한 연구: II. AlN/Cu 접합체의 잔류응력에 미치는 Mo 중간재의 영향

박성계 , 김지순 , 유희 외 2명 한국재료학회지 1999.01 학술저널

AlN 세라믹스와 금속간 계면접합에 관한 연구 : I. AlN/Cu 및 AlN/W 활성금속브레이징 접합체의 잔류응력 해석

박성계 , 이승해 , 김지순 외 2명 한국재료학회지 1999.01 학술저널

1997

활성금속법에 의한 AlN/금속간 접합체의 계면반응과 미세구조 형성이 접합강도에 미치는 영향

박성계 , 강지훈 , 김지순 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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활성금속브레이징법으로 계면접합된 AlN/Cu 접합체의 잔류응력 완화에 미치는 Mo 중간재의 영향을 조사하였다. 유한요소법에 의한 응력 해석과 접합체 강도 측정, 파단면의 관찰을 행하였으며, 이들 결과를 비교, 분석하였다. 응력 해석 결과로부터, Mo 중간재를 사용할 경우 최대 잔류 주응력이 형성되는 위치가 AlN/삽입금속 계면으로부터 삽임금속/Mo 계면을 통하여 Mo 내부로 이동됨을 확인하였다.접합체의 자유표면에 형성되는 인장성분의 응력집중 위치는 Mo 중간재 두께가 증가됨에 따라 Cu/Mo 계면과 Mo/AlN 계면의 두 곳으로 분리되었으며, AlN측 잔류응력의 크기는 크게 감소하였다. 중간재를 사용하지 않은 경우 최대 접합강도가 52 MPa로 낮은 강도를 보였으나, 두께 400$\mu\textrm{m}$ 이상의 Mo 중간재를 사용한 접합체의 경우, 200 MPa 이상, 최대 275 MPa의 접합강도를 얻을 수 있었다.

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