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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
임사환 (한국기술교육대학교 기계공학과) 허용정 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) 최성주 (한국기술교육대학교 기계공학부) 이종락 (가스안전교육원 교수실)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제5권 제4호
발행연도
2006.1
수록면
23 - 27 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

반도체공정의 Tubing 내 잔여가스제거 지적결정시스템
임사환 ,  허용정 ,  최성주 외 1명 반도체및디스플레이장비학회지 2006.01 학술저널
반도체공정의 Tubing내 잔여가스제거 지적결정시스템
임사환 ,  허용정 ,  최성주 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

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Semiconductor industry has been dramatically developed with the information era of 21C, and the trend now is to consider that the technology of management system of the computer utility that has a high efficiency is important. This study investigated the intelligent decision system for residual gas purge process to effectively remove the residual gas in the tube after replacing the cylinder that is used for the gas cabinet or BSGS(Bulk Specialty Gas Supply System) of the semiconductor process. It was suggest from this study that it is possible to decide the type, frequency and volume of purge gas using various toxic gases which is necessary for each process. Also, this result will be utilized for operating the system, increasing the efficiency of management and saving energy.
#Purge Process #Intelligent Decision #Toxic Gas

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