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학술저널
저자정보
문성욱 (고등기술연구원) 김종배 (고등기술연구원) 김선흠 (고등기술연구원) 배한성 (고등기술연구원) 남기중 (고등기술연구원)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제9권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
7 - 13 (7page)

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2006

파이버 공초점법을 이용한 레이저 빔 자동 초점 제어 장치에 관한 연구
문성욱 ,  김종배 ,  김선흠 외 2명 한국레이저가공학회지 2006.01 학술저널
파이버 공초점법을 이용한 레이저 빔 자동 초점 제어 장치에 관한 연구
문성욱 ,  김선흠 ,  김종배 외 2명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2006.01 학술대회자료

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Auto focusing system to find optimized focal position of laser beam used for material process has been investigated by using fiber confocal method. Wavelength of laser diode (LD) and diameter of single-mode fiber are 780nm and $5.3{\mu}m$, respectively. Intensity distributions of beam reflected from the surface of mirror and silicon bare wafer have been observed in a gaussian form. Experimental results show that focal position obtained by LD is shifted from one observed from surface scribed by laser about $80{\mu}m$. It is due to the difference of wavelength and each divergence of between LD and laser used for material process. It is confirmed that auto focusing control system through position calibration has operated steadily.
#Fiber confocal method #auto-focusing #LD #laser diode) #UV 355nm DPSS laser #Si bare wafer

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