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자료유형
학술저널
저자정보
한장식 (LG전자 생산기술원) 안강호 (한양대학교 기계공학과) 김곤호 (한양대학교 과학기술부 응용물리학)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체장비학회지 한국반도체장비학회지 제1권 제1호
발행연도
2002.1
수록면
35 - 40 (6page)

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Understanding of charging properties of a small particle is necessary to control the particle contamination and to improve productivity of the electronic device in the plasma aided semiconductor manufacturing processes. In this study, the effects of both magnetic field and particle size on the charging properties are experimentally investigated in collisional dusty plasmas. The experiments carried out in the system consisted of a monodisperse particle generation system, a DC magnetized plasma generation system and a charge measurement system. The plasma chamber is made of cross-shape Pyrex surrounded by magnetic bucket (composed of 12 permanent magnetic bar) to confine the plasma. DC magnetic field up to 250G are applied to the plasma zone by external magnetic coil. Previous work shows the charging effect clearly increase with increasing the size of the particle and plasma density, as it was expected.
#플라즈마 #자화된 플라즈마 #단분산입자 #하전 #Plasma #Magnetized plasma #DMA #Monodisperse particle #Charge

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