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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
최미령 (한국기술교육대학교) 김영철 (한국기술교육대학교)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체장비학회지 한국반도체장비학회지 제2권 제1호
발행연도
2003.1
수록면
21 - 24 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

폐슬러지를 이용한 SiC 합성에 관한 열역학적 고찰
최미령 ,  김영철 한국반도체장비학회지 2003.01 학술저널

2002

폐슬러지를 이용한 SiC를 합성하기 위한 열역학적인 고찰
최미령 ,  김영철 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Sludged silicon powders that are generated during silicon ingot slicing process have potential usage as silicon source in fabricating silicon carbide powders by adding carbon. A thermodynamic calculation is performed to consider a plausible formation condition for the silicon carbide powders. A thin silicon oxide layer around silicon powder is sufficient to supply equilibrium oxygen partial pressure at the formation temperature($1400^{\circ}C$) of the silicon carbide in the Si-C-O ternary system. Formation of silicon carbide by using the sludged silicon powders is more efficient than by using silicon oxide powders.
#SiC #Sludged silicon #Thermodynamics

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