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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
임지석 (연세대학교 기계공학과) 김석민 (연세대학교 기계공학과) 정기봉 (연세대학교 기계공학과) 김홍민 (연세대학교 기계공학과) 강신일 (연세대학교 기계공학부)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제2권 제2호
발행연도
2006.1
수록면
91 - 95 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

UV 임프린트를 이용한 이미지 센서용 마이크로 렌즈 어레이 성형 공정 개발
임지석 ,  김석민 ,  정기봉 외 2명 정보저장시스템학회논문집 2006.01 학술저널

2005

UV 임프린트를 이용한 이미지 센서용 마이크로 렌즈 어레이 성형 공정 개발
임지석 ,  김석민 ,  정기봉 외 2명 정보저장시스템학회 추계학술대회논문집 2005.01 학술대회자료

초록· 키워드

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High-density image sensors rave microlens array to improve photosensitivity. It is conventionally fabricated by reflow process. The reflow process has some weak points. UV imprinting process can be proposed as an alternative process to integrate microlens array on photodiodes. In this study, the UV imprionting process to integrate microlens array on image sensor was developed using UV transparent flexible mold and simulated image sensor substrate. The UV transparent flexible mold was fabricated by replicating master pattern using siliconacrylate photopolymer. The releasing property and shape accuacy of siliconacrylate mold was analysed. After UV imprinting process, replication quality and align accuracy was analysed.
#이미지 센서 #마이크로 렌즈 어레이 #자외선 투과형 몰드 #UV 임프린팅 #UV 복제 #Image sensor #Microlens array #UV Imprinting #UV replication

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