A Review of the Mechanisms Regarding Duplex Layer Formation During Various Manufacturing Processes

김창경

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김창경 (한양대학교 재료금속공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제8권 제2호

발행연도: 1998.1

수록면: 154 - 160 (7page)

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다양한 제조 공정하에서 기판위에 형성되는 이중층은 공학적인 관점으로 볼 때 매우 중요한 미세 조직들 중의 하나이다. 이중에서도 고온 산화시에 형성되는 이중층에 관하여는 많은 이론들이 있다. 이 논문에서는 이들 이론들에 대한 가정 및 이론 전개에 대한 고찰을 통해 이들 이론들을 검증하였다. 또 산화 이중층을 진공 박막 제조 및 응고시 형성되는 이중층들과 비교하였다.

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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