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자료유형
학술저널
저자정보
Kang, Ki-Won (Korea Aromic Energy Research Institute, Daejeon) Kim, Jin-Ku (Dept of Materials Engineering, Hanyang University) Song, Jin-Tae (Korea Atomic Energy Research Institute)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제4권 제5호
발행연도
1994.1
수록면
535 - 540 (6page)

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Thin film magnet was fabricated by radio frequency magnetron sputtering using $Nd_13/(Fe.Co)_{70}B_{17}$ alloy target and magnetic properties were investigated according to sputtering conditions from the metallurgical point of view. we could obtain the best preferred orientation of $Nd_2Fe_{14}B$ phase at substrate temperatures between $450^{\circ}C$ and $460^{\circ}C$ with the input power 150W, and thin films had the anisotropic magnetic properties. But, as the thickness of thin film increased, the c-axis orientation gradually tended to be disordered and magnetic properties also become isotropic. Just like Nd-Fe-B meltspun ribbon, the microstructure of thin film magnet was consisted of very find cell shaped $Nd_2Fe_{14}B$ phase and the second phase along grain boundary. While, domain structure showed maze patterns whose magnetic easy axis was was perpendicular to film plane of thin film. It was concluded from these results that the perpendicualr anisotropy in magnetization was attributed to the perpendicular alignment of very find $Nd_2Fe_{14}B$ grains in thin film.

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