Pentacene OTFTs with  $Al_2O_3$ gate insulator by Atomic Layer Deposition Process

Jin, Sung-Hun; Kim, Jin-Wook; Lee, Cheon-An; Park, Byung-Gook; Lee, Jong-Duk

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저자정보: Jin, Sung-Hun (Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering, Seoul National University) Kim, Jin-Wook (Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering, Seoul National University) Lee, Cheon-An (Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering, Seoul National University) Park, Byung-Gook (Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering, Seoul National University) Lee, Jong-Duk (Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering, Seoul National University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display

발행연도: 2003.1

수록면: 15 - 18 (4page)

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Pentacene OTFTs of $Al_2O_3$ insulator treated with a diluted PMMA were fabricated for the application of the low voltage operation and large area displays. The operation voltage of 15 V and the mobility of 0.35 $cm^2/Vsec$ are obtained even adopting the thick dielectric of 100 nm which was deposited by atomic layer deposition at the temperature of $150^{\circ}C$. The current on-off ratio was $4.1{\times}10^4$ for the OTFTs treated with 9:1 PMMA and good saturation characteristics were obtained as drain voltage increases.

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Jin, Sung-Hun

소속기관 School of Electrical Engineering and Computer Sciences, Seoul National University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 11 이용수 5

Kim, Jin-Wook

소속기관 LG electronics display laboratory

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Lee, Cheon-An

소속기관 Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering, Seoul Na

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Park, Byung-Gook

소속기관 Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering and Compu

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Lee, Jong-Duk

소속기관 Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering and Compu

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논문수 31 이용수 6

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