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저자정보
Chu, Fang-Tsun (Display Technology Center, Industrial Technology Research Institute) Shih, Ding-Kang (Display Technology Center, Industrial Technology Research Institute) Chen, Hung-Tse (Display Technology Center, Industrial Technology Research Institute) Yeh, Yung-Hui (Display Technology Center, Industrial Technology Research Institute)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
발행연도
2006.1
수록면
509 - 512 (4page)

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In this paper, we proposed the novel device and process design to enhance the uniformity of low-temperature poly-Si TFTs fabricated by sequential lateral solidification (SLS). The proposed design schemes can avert the conventional two-shot SLS process-induced issues. Moreover, different design considerations between conventional excimer laser crystallization and the SLS process were also proposed and discussed.

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