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자료유형
학술저널
저자정보
Young-Jong Kim (Kyoto University)
저널정보
한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제44권 제4호
발행연도
2020.8
수록면
306 - 310 (5page)
DOI
10.5916/jamet.2020.44.4.306

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A micropatterning technique was applied to an n-octadecyltrimethoxysilane self-assembled monolayer (ODS-SAM) formed on Si substrates covered with a 2 nm thick layer oxide using excimer lamps to radiate vacuum ultraviolet (VUV) light at 172 nm in wavelength. The results of Kelvin-probe force microscopy (KFM) and lateral force microscopy (LFM) analyses showed that the second monolayer was stacked to the VUV-modified area of the ODS-SAM. Oxides, i.e., –COOH groups, were formed before the ODS-SAM completely decomposed and was removed from the substrate. Coplanar binary alkylsilane SAM microstructures were successfully fabricated by adopting the response between –OCH₃ functional groups with –COOH groups on the ODS-SAM modified using VUV light. Furthermore, as shown in the KFM image, the region covered with the FAS had a surface potential ~60 mV lower than that of the region covered with ODS. The origin of the image contrasts between the ODS- and FAS-SAMs was the significant difference in the electronic states between the ODS and FAS owing to the electron negativity of fluorine atoms. The difference in the surface chemical composition of the SAMs could be clearly and sensitively measured through KFM based on the difference in the surface potential between the ODS and FAS.
#Self-assembled monolayer #Vacuum ultraviolet light #Micropatterning #Microstructure #Kelvin-probe force microscopy #Lateral force microscopy

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental method
3. Results and discussion
4. Conclusion
References

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
J. Xu / 2014 / Investigation of the biofouling properties of several algae on different textured chemical modified silicone sur-faces / Applied Surface Science 311:703~708 google schola A. I. Kingon / 2000 / Alternative dielectrics to silicon dioxide for memory and logic devices / Nature 406:1032~1038 google schola C. R. Martin / 2003 / Topographical evolution of lead zirconate titanate(PZT)thin films patterned by mi-cromolding in capillaries / The Journal of Physical Chem-istry B 107(18):4261~4268 google schola O. Y. Gorbenko / 2002 / Epitaxial stabilization of oxides in thin films / Chemistry of Materials 14(10):4026~4043 google schola S. Cassassa / 2002 / Structural magnetic, and electronic properties of the NiO monolayer epitaxially grown on the(001)Ag surface : An ab initio density functional study / The Journal of Physical Chemistry B 106(50):12978~12985 google schola

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