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저자정보
김태현 (부산대학교 기계공학부 대학원) 성연모 (부산대학교 기계공학부 대학원) 정흥철 (부산대학교 기계공학부 대학원) 김덕줄 (부산대학교 기계기술연구원) 최경민 (부산대학교 기계공학부)
저널정보
한국분무공학회 한국액체미립화학회지 한국액체미립화학회지 제16권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
27 - 36 (10page)

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The impact force on the single and overlap region of twin spray was experimentally evaluated using visualization method in full cone type swirl nozzle spray. Visualization of spray was conducted to obtain the spray angle and breakup process. The photography/imaging technique, based on Particle Image Velocimetry (PIV) using high-speed camera, was adopted for the direct observation of droplet motion and axial velocity measurement, respectively. Droplet size was measured by Particle Motion Analyze System (PMAS). The purpose of this study is to provide fundamental information of spray characteristics, such as impact force, for higher etching factor in the practical wet etching system. It was found that the spray angle, axial velocity and impact force were increased with increasing the nozzle pressure while droplet size decreased with increasing the nozzle pressure. Droplet size increased as the distance from nozzle tip was decreased. The impact force of twin spray in the overlap region was about 63.29, 67.02, 52.41% higher than that of single spray at 40, 50 and 60 mm of nozzle pitch, respectively. Also, the nozzle pitch was one of the important factors in the twin spray characteristics.

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