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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김성겸 (공주대학교)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제10권 제3호
발행연도
2011.1
수록면
35 - 42 (8page)

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This paper describes the characteristics of high speed grinding and the influence of wheel surface speed V and a grindability of the grinding materials. The various fine ceramics pieces was ground by metal and vitrified bonded diamond wheel. The surface roughness of fine ceramics(Zirconia($ZrO_2$), Silicon Carbide(SiC), Silicon Nitride($Si_3N_4$), Alumina($Al_2O_3$)) decreases from $0.05{\mu}m(R_{max})$ to $0.025{\mu}m(R_{max})$ when the wheel speed at grinding point increases the wheel speed. Relation between the temperature at grinding point and surface roughness was linear. Abrasive jet machining(AJM), a specialized from of shot blasting, is considered one of the most helpful micro machining methods for hard and brittle materials such as glasses and ceramics by constant pressure grinding.

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