Love파를 이용한 저점성 유체 점도 측정용 표면 탄성파 센서 개발

이상대; 김기복; 이대수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이상대 (Safety Metrology Group, Division of Metrology for Quality Life, Korea Research Institute of Standard and Science) 김기복 (Safety Metrology Group, Division of Metrology for Quality Life, Korea Research Institute of Standard and Science) 이대수 (Safety Metrology Group, Division of Metrology for Quality Life, Korea Research Institute of Standard and Science)

저널정보: 한국농업기계학회 바이오시스템공학(구 한국농업기계학회지) 바이오시스템공학 제33권 제4호

발행연도: 2008.1

수록면: 282 - 287 (6page)

이용수

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Love wave is one of the shear horizontal waves and it can propagate between two layers in liquid without energy loss. The SAW (surface acoustic wave) sensor using Love wave is very useful for real time measurement of the viscosity of liquid with high sensitivity. In this study, the 77 MHz and 155 MHz Love wave SAW sensors were fabricated and use to measure the viscosity of low viscous liquid. To generate the surface acoustic wave, the inter-digital transducers were fabricated on the quartz crystal wafer. In order to obtain the optimal thickness of the coating film (novolac photoresist) generating the Love wave on the surface of SAW device, theoretical calculation was performed. The performances of fabricated Love wave SAW sensors were tested. As test liquid, pure water and glycerol solutions having different concentrations were used. Since the determination coefficients of the regression equations for measuring the viscosity of liquid are greater than 0.98, the developed Love wave SAW sensors in this study will be very useful for precise measurement of viscosity of liquid.

#Surface acoustic wave #Love wave #Viscosity #Low viscose liquid

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이상대

소속기관 Dept. of Agricultural Machinery Engineering, Chungnam National University

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김기복

소속기관 Division of Metrology for Quality Life, Korea Institute of Standards and Science[KRISS]

주요연구분야 농수해양학 > 임학 공학 > 기타공학 > 농공학

논문수 64 이용수 216

이대수

소속기관 Safety Metrology Group, Division of Metrology for Quality Life, Korea Research Institute of Standard

주요연구분야 공학 > 기타공학 > 농공학

논문수 1 이용수 1

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