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학술저널
저자정보
송영환 (울산대학교 첨단소재공학부) 차병철 (한국생산기술연구원 첨단제조공정그룹) 천주용 (한국생산기술연구원 첨단제조공정그룹) 엄태영 (울산대학교 첨단소재공학부) 김유성 (뉴옵틱스 기술연구소) 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제30권 제1호
발행연도
2017.1
수록면
13 - 16 (4page)

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$SnO_2$ single layer films and 2 nm thick Ni thin film intermediated $AZO/Ni/SnO_2$ trilayer films were deposited on glass substrate at room temperatures by RF and DC magnetron sputtering and then the optical and electrical properties of the films were investigated to enhance opto-electrical performance of $SnO_2$ single layer films. As deposited $SnO_2$ films show the optical transmittance of 81.8% in the visible wavelength region and a resistivity of $1.2{\times}10^{-2}{\Omega}cm$, while $AZO/Ni/SnO_2$ films show a lower resistivity of $5.8{\times}10^{-3}{\Omega}cm$ and an optical transmittance of 77.1% in this study. Since $AZO/Ni/SnO_2$ films show the higher figure of merit than that of the $SnO_2$ single layer films, it is supposed that the $AZO/Ni/SnO_2$ films can assure high opto-electrical performance for use as a transparent conducting oxide in various display applications.
#AZO #Ni #$SnO_2$ #Magnetron sputtering #Figure of merit

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