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학술저널
저자정보
차국찬 (재활공학연구소) 이지연 (재활공학연구소) 정성희 (재활공학연구소) 송점식 (재활공학연구소) 이석민 (재활공학연구소)
저널정보
한국고무학회 Elastomers and composites 엘라스토머 및 콤포지트 제45권 제4호
발행연도
2010.1
수록면
298 - 308 (11page)

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패럴린 박막의 기계적 성질과 표면 특성을 개선하기 위해 Xylydene계 다이머(DPX-C, DPX-D, DPX-N)를 사용하여 각각의 다이머에 대한 증착 조건과 투입량에 따른 박막의 두께를 조절함으로써 단일 패럴린-C, D, N 박막과 두 가지 타입이 혼합된 하이브리드 타입의 화학적, 물리적 패럴린 박막을 제조하였다. 패럴린 증착은 화학기상증착법(chemical vapor deposition: CVD)을 이용하였으며, 열분석을 통해 단일 박막과 하이브리드 타입의 박막에 대한 열적 특성을 비교 분석하였다. 인장 강도와 신장율 그리고 인열력 시험을 통해 박막에 대한 기계적 물성을 알아보았으며, 접촉각과 표면 에너지를 측정하여 박막에 대한 표면 특성을 관찰하였다. 두 가지 타입이 혼합된 하이브리드 타입의 화학적 패럴린 박막은 서로 다른 다이머의 장단점을 상호 보완시켜 줄 수 있으며, 물리적 패럴린 박막은 기재에 코팅되는 면과 반대 면의 박막 특성을 자유롭게 조절할 수 있다.
#parylene #film #CVD #hybrid

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참고문헌 (16)

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J. B. Fortin / 2002 / A Model for the Chemical Vapor Deposition of Parylene Thin Films / Chem. Mater. 14:1945~1945 google schola Seshadri Ganguli / 1997 / Improved growth and thermal stability of Parylene films / J. Vac. Sci. Technol. 15:3138~3138 google schola Kathleen M. Vaeth / 2000 / Transition Metals for Delective Chemical Vapor Deposition of Parylene-Based Polymers / Chem. Mater. 12:1305~1305 google schola Eui Jung Kim / 1998 / Low Temperature Vapor Deposition of Parylene-N Films from [2,2]Paracyclophane / J. of the Korean Institude of Chemical Enginners 36:896~896 google schola Soo-Jin Chua / 2002 / Stabilization of electrode migration in polymer electroluminescent devices / Appl. Phys. Lett. 81:1119~1119 google schola

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