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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
유신성 (연세대학교 기계공학과) 김대은 (연세대학교 기계공학과)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제8권 제1호
발행연도
2012.1
수록면
6 - 10 (5page)

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The tribological behavior of microsystems needs to be clearly understood in order to improve the reliability of precision components. For example, friction and wear phenomena pose serious problems in MEMS applications. As a first step to investigate the tribological behavior of such systems, an appropriate testing system must be acquired. In this work, a micro-wear tester based MEMS platform was designed. The main concern was to achieve a desirable range of horizontal displacement for the specimen holder and also to apply a normal force in the tens of ${\mu}N$ range. The structural analysis of the micro-wear tester showed that the proposed design satisfied these requirements while maintaining the structural integrity.
#MEMS #micro wear tester #structural analysis #tribology

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S. Kamisuki / 2000 / A high resolution, electrostatically-driven commercial inkjet head / Micro Electro Mechanical System, The Thirteenth Anuual Interantional Conference on :793~798 google schola X. Xiong / 2008 / Material fatigue and reliability of MEMS accelerometers / Defect and Fault Tolerance of VLSI Systems, IEEE International Symposium on :314~322 google schola P.F. Van Kessel / 1998 / A MEMS-based projection display / IEEE Transactions on Electron Devices 86(8):1687~1704 google schola G. Binning / 1986 / Atomic Force Microscope / Physical Review Letters 56(9):930~933 google schola O. Marti / 1986 / Atomic resolution atomic force microscopy of graphite and the ‘‘native oxide’’ on silicon / Journal of Vacuum Science & Technology A : Vacuum, Surfaces, and Films 6(2):287~290 google schola

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