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레이저 충격파 클리닝 공정에서 음향 모니터링에 관한 연구
한국레이저가공학회지
2003 .01
레이저 충격파 클리닝에서 발생되는 유동장의 실험적 해석
한국레이저가공학회지
2004 .01
레이저 유기 충격파를 이용한 웨이퍼 표면 미소입자 제거
한국레이저가공학회지
2002 .01
레이저 세정기술을 이용한 웨이퍼의 표면세정
한국액체미립화학회지
2007 .01
Removal of nanoscale contaminant particles using laser-induced spray jet
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
극저온 CO₂ 세정공정의 세정인자 최적화
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .09
액막 보조 레이저 충격파 세정 공정
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2004 .01
레이저 충격파 클리닝 공정에서 분위기 가스의 영향
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2003 .01
오염 입자 상태에 따른 레이저 충격파 클리닝 특성 고찰
한국레이저가공학회지
2003 .01
Effects of size, humidity and aging on particle removal with high energy laser shock wave cleaning
한국재료학회 학술발표대회
2008 .01
액막 보조 레이저 세척에서 액체 기화의 역할
대한기계학회 논문집 B권
2003 .02
레이저 유기 충격파 클리닝 공정에서 펄스 에너지에 따른 영향
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
Acoustic Analysis of High-Frequency Ultrasonic Cleaner
한국음향학회지
1997 .01
Evaluation of Particle Removal Efficiency during Jet Spray and Megasonic Cleaning for Aluminum Coated Wafers
반도체디스플레이기술학회지
2012 .01
레이저 유기 충격파를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 클리닝
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
유동층을 이용한 열처리부품의 세정 시스템 설계 및 개발 (I) -유동층 이용 세정 실험장치 설계, 개발 및 실험 -
바이오시스템공학(구 한국농업기계학회지)
2006 .01
수영장 청소 로봇 개발 및 청소성능지표
로봇학회 논문지
2012 .12
신개념 태양전지 세정용 오존마이크로 버블에 관한 연구
전기학회논문지
2012 .01
Wafer Position Recognition in Wafer Cleaning Equipment
한국멀티미디어학회 국제학술대회
2009 .08
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