메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이홍우 (삼성 디스플레이) 양봉섭 (서울대학교 재료공학부) 오승하 (서울대학교 재료공학부) 김윤장 (서울대학교 재료공학부) 김형준 (서울대학교 재료공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제13권 제1호
발행연도
2014.1
수록면
43 - 49 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

스퍼터 증착된 Zinc Tin Oxide 박막의 밀도가 비정질 산화물 트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향
이홍우 재료공학부 2014.01 학위논문
스퍼터 증착된 Zinc Tin Oxide 박막 트랜지스터의 공정 압력에 따른 특성 연구
이홍우 ,  양봉섭 ,  오승하 외 2명 반도체디스플레이기술학회지 2014.01 학술저널

초록· 키워드

오류제보하기
Zinc-tin oxides (ZTO) thin film transistors have been fabricated at different process pressure via re sputtering technique. TFT properties were improved by depositing channel layers at lower pressure. From the analysis of TFTs comprised of multi layer channel, deposited consecutively at different sputtering pressure, it was suggested that the electrical characteristics of TFTs were mainly affected by interfacial layer due to their high conductance, however, the stability under the NBIS condition was influenced by whole bulk layer due to low concentration of positive charges, which might be generated by the oxygen vacancy transition, from Vo0 to $Vo^{2+}$. Those improvements were attributed to increasing sputtered target atoms and decreasing harmful effects of oxygen molecules by adopting low sputtering pressure condition.
#Zinc Tin Oxide #ZTO) #Thin Film Transistor #TFT) #Sputtering pressure #Multi-layer channel #Pumping #Negative Bias Illumination Stability #NBIS)

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (23)

참고문헌 신청
K. Yoneda / 2001 / Development trends of LTPS TFT LCDs for mobile applications / IEEE :85 google schola Y. He / 2000 / Electron Device Letters / IEEE 21(590) google schola N. K. Song / 2007 / Electron Devices / IEEE Transactions 54(1420) google schola A. Choi / 2006 / Journal of Applied Physics / Journal of Applied Physics 100(113529) google schola J. H. Oh / 2005 / Applied Physics Letters / Applied Physics Letters 87(231120) google schola

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0