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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 225 - 229 (5page)
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본 연구에서는 환경 모니터링을 위한 정전용량형 압력센서를 저온동시소성세라믹 (LTCC) 기술을 이용하여 제작하였다. LTCC 기술은 실리콘 기반의 기술에 비하여 낮은 생산 단가, 높은 수율, 3차원 구조물의 용이한 제작성 등으로 인하여 센서 응용분야에서 중요한 역할을 담당하고 있으며, 특히 열악한 외부환경에 적합한 물질이다. 400 ${\mu}m$ 두께 삼차원 구조의 LTCC 다이어프램은 NEG사의 MLS 22C 상용 파우더를 이용하여 100 ${\mu}m$ 두께의 그린쉬트를 적층하고 동시소결하여 제작하였다. 제작한 다이어프램은 공동의 면적에 따른 센싱특성을 평가하기 위하여 각각 25, 49 $mm^2$의 두 종류를 제작하였다. 정전용량형 압력센서를 구현하기 위하여 상부에는 열증착기를 이용하여 Au 금속박막을 증착하였고 하부에는 상용 알루미늄막을 압착하였다. 압력에 따른 센싱특성을 평가하기 위하여 제작된 측정시스템을 이용하여 0~30 psi의 압력을 가변하여 압력센서의 정전용량 변화를 측정한 결과 두 센서 모두에서 선형적인 센싱 특성을 나타냄을 확인하였다.
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참고문헌 (7)
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K. G. Ong / 2001 / Design and application of a wireless, passive, resonant-circuit environmental monitoring sensor / Sens. Actuators A 93:33~43
D. Belavic / 2008 / Capacitive Pressure Sensors Realized With LTCC Technology / Proc. of IEEE :269~272
M. R. Gongora-Rubio / 2001 / Overview of low temperature co-fired ceramics tape technology for meso-system technology (MsST) / Sens. Actuators A 89:222~241
Clayton B. Sippola / 2006 / A thick film screen-printed ceramic capacitive pressure microsensor for high temperature applications / J. Micromech. Microeng 16:1086~2006
W. Wang / 2007 / Optimal design on SAW sensor for wireless pressure measurement based on reflective delay line / Sens. Actuators A 139:2~6
D. Belavic / 2008 / Capacitive Pressure Sensors Realized With LTCC Technology / Proc. of IEEE :269~272
M. R. Gongora-Rubio / 2001 / Overview of low temperature co-fired ceramics tape technology for meso-system technology (MsST) / Sens. Actuators A 89:222~241
Clayton B. Sippola / 2006 / A thick film screen-printed ceramic capacitive pressure microsensor for high temperature applications / J. Micromech. Microeng 16:1086~2006
W. Wang / 2007 / Optimal design on SAW sensor for wireless pressure measurement based on reflective delay line / Sens. Actuators A 139:2~6
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