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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
조성원 (한양대학교 전자공학과) 방진영 (한양대학교 전자공학과) 이영광 (한양대학교 전자공학과) 정진욱 (한양대학교 전자공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제6권 제2호
발행연도
2007.1
수록면
29 - 33 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

400 kHz 페라이트 유도 결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명 반도체및디스플레이장비학회지 2007.01 학술저널
400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2007.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Low frequency (400 kHz) Ferrite ICP has been proposed for large area processing. Because the coupling coefficient is close to 1, the transformer matching can be adapted to Ferrite ICP. The transformer matching system is simple. In this paper the new matching system by controlling the turns of transformer using relays is proposed for impedance matching. We developed a simple matching system and characterized it when the turns were changed. It was observed that the 2-channel relay is available for transformer matching.
#Inductive coupled plasma #Impedance Matching #Ferrite core

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