Hybrid model을 적용한 2차원 반도체 공정용 ICP에서 Bias에 따른 IEDF, IADF 연구

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저자정보: 손예진 (한국항공대학교) 이소라 (한국항공대학교) 김동길 (한국항공대학교) 권득철 (국가핵융합연구소) 최희환 (한국항공대학교)

이용수

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#2D ICP #RF bias #IEDF #IADF #EEDF

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