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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.37 No.12
발행연도
2020.12
수록면
865 - 872 (8page)
DOI
10.7736/JKSPE.020.066

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A femtosecond laser is used in various fields such as microscale machining, OLED repair, micro 3D structure fabrication, and eye surgery. Particularly, because of non-thermal property, ablation and ablation threshold are the most representative characteristics of femtosecond laser. The ablation system is accompanied by many optics, stage, or gantry. In the case of the gantry, an ordinary optic system delivers a beam where mirrors and lens are required. If the gantry moves to the sample, external stimulation such as vibration will occur. Vibration has an influence on optics such as transforming beam path and becomes an error that decreases accuracy, precision, and spatial resolution. Generally, Fiber Optic Beam Delivery System (FOBDS) is used to solve this issue. But in the case of the femtosecond laser, FOBDS is incompatible. Recently, another FOBDS model that is compatible with the femtosecond laser has been developed. In this paper, the ablation threshold was obtained by FOBDS and femtosecond laser. The results present a possibility of ablation without external stimulation.
#Femtosecond laser (펨토초 레이저) #Fiber optic beam delivery system (광섬유 빔 전달 시스템) #Ablation threshold (가공 임계치) #Laser micro machining (레이저 미세 가공)

목차

1. 서론
2. 레이저 가공시스템 및 실험 방법
3. FOBDS와 펨토초 레이저를 이용한 가공 실험 결과
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (26)

참고문헌 신청
Sugioka, K. and Cheng, Y., “Femtosecond Laser Processing for Optofluidic Fabrication,” Lab on a Chip, Vol. 12, No. 19, pp. 3576-3589, 2012. google schola Mirza, I., Bulgakova, N. M., Toma?tik, J., Michalek, V., Haderka, O., et al., “Ultrashort Pulse Laser Ablation of Dielectrics: Thresholds, Mechanisms, Role of Breakdown,” Scientific Reports, Vol. 6, Paper No. 39133, 2016. google schola Ben-Yakar, A. and Byer, R. L., “Femtosecond Laser Ablation Properties of Borosilicate Glass,” Journal of Applied Physics, Vol. 96, No. 9, pp. 5316-5323, 2004. google schola Chichkov, B. N., Momma, C., Nolte, S., Von Alvensleben, F., and Tunnermann, A., “Femtosecond, Picosecond and Nanosecond Laser Ablation of Solids,” Applied Physics A, Vol. 63, No. 2, pp. 109-115, 1996. google schola Perry, M., Stuart, B., Banks, P., Feit, M., Yanovsky, V., et al., “Ultrashort-Pulse Laser Machining of Dielectric Materials,” Journal of Applied Physics, Vol. 85, No. 9, pp. 6803-6810, 1999. google schola

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