세라믹 유전체 물질과 냉매 유로 형상에 따른 정전척 냉각에 관한 연구

김대현 ,  김광선

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

세라믹 정전척 평가를 위한 실시간 모니터링 시스템 개발

양시은 ,  홍석기 ,  최종하 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

정전기력을 이용한 구조물 강제 진동의 실험적 연구

이희남 ,  함길

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2018 .10

정전척 표면의 온도 균일도 향상을 위한 냉매 유로 형상에 관한 연구

김대현 ,  김광선

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

정전척 표면의 세라믹물질 적층 순서에 따른 온도 특성에 관한 연구

장경민 ,  김광선

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

스마트 밴드 기반 인체 정전기 관리 시스템

손교훈 ,  김현석 ,  조광수 외 2명

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .02

수치 해석을 통한 열전척 내부 유로의 열 유동 특성 분석

채용배 ,  국형호 ,  유종균 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .06

연 X선 정전기 제거장치 구조에 관한 연구

김상효 ,  이수호 ,  박혜리 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2024 .11

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

정전기 관리 시스템 데이터 분석

손교훈 ,  김현석 ,  조광수 외 2명

한국정보과학회 학술발표논문집

2021 .12

하우징 조화가진을 통한 틸팅패드 저널베어링 동특성 예측 모델

서동찬 ,  서준호

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2023 .12

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11