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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.11
- 수록면
- 826 - 830 (5page)
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One of the early industry applications of the pressure sensor using thick film strain gage was described by Catteneo. This device comprised a ceramic diaphragm with four strain gages fabricated onto the surface of diaphragm. The gages were positioned such that each pair was subjected to either tangential or radial components of strain when the diaphragm deformed due to an applied pressure
This paper describes the recent development of a thick film strain gage type ceramic pressure sensors. It’s manufacturing process starts with an alumina(compounded Al₂O₃(96%)) powder that is compressed in press(about 16㎏/㎠). Essentially, the device comprises thick film resistor deposited into the corner and center areas of the ceramic diaphragm. An additional diaphragm, having four conductor pads screen printed and fired onto its surface, is positioned over the resistors so that the electrodes make contact with the resistors Test results of the output sensitivity is 1.2㎷/V , max. nonlinearity is less than 0.29%FS and hysteresis is less than 0.38%FS.
This paper describes the recent development of a thick film strain gage type ceramic pressure sensors. It’s manufacturing process starts with an alumina(compounded Al₂O₃(96%)) powder that is compressed in press(about 16㎏/㎠). Essentially, the device comprises thick film resistor deposited into the corner and center areas of the ceramic diaphragm. An additional diaphragm, having four conductor pads screen printed and fired onto its surface, is positioned over the resistors so that the electrodes make contact with the resistors Test results of the output sensitivity is 1.2㎷/V , max. nonlinearity is less than 0.29%FS and hysteresis is less than 0.38%FS.
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
참고문헌 (0)
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