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반도체 산업용 부품의 전기화학 표면 연마 가공특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
머신러닝 기법을 이용한 연마품질 예측에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
연마 공정 및 표면 계측의 하이브리드 시스템 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
연마공정에서 영상처리기법을 이용한 절삭특성 예측 모델 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
초음파 보조 연마 가공 모듈 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Study of Cu Electrochemical Polishing for Redistribution Layer Process of Wafer Level Packaging
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
탄화규소 플라즈마 연마 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
전기화학-기계적 연마 장치의 회전속도에 따른 전해액 유동 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
펄스 레이저를 이용한 금형강의 표면연마 해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
자성입자연마 가공공구에 따른 연마형상 예측
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
LCD Glass Polishing Machine의 가공특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
자기입자와 전기화학 폴리싱을 통한 STS304의 국부적 표면분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
온도에 따른 연마패드의 동적탄성계수의 변화가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
튜브 전해연마의 최적 가공 용액 특성 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
금형 연마 공정 자동화를 위한 엔드이펙터 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
Tribology In Chemical Mechanical Polishing
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
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