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저자정보
이훈희 (한국생산기술연구원) 이인석 (경북대학교) 이광일 (경일대학교) 양승한 (경북대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.38 No.2
발행연도
2021.2
수록면
123 - 129 (7page)
DOI
10.7736/JKSPE.020.083

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In ultra-precision processes, such as aerospace parts and precision mold machining, the accuracy of a feed drive system should be secured to achieve sufficient form accuracy. Dual-Servo stages, which compensate for multi-DOF motion errors, are being developed depending on the applied processes. This paper deals with the fine stage of a dual-servo stage to compensate for 6-DOF motion errors of a linear stage. The proposed fine stage measured 6-DOF errors of the linear stage motion with capacitive sensors, a reference mirror, and an optical encoder. It compensated for the errors using the flexure hinge mechanism with piezo actuators. The error equations and the inverse kinematics were derived to calculate the 6- DOF errors and displacements of piezo actuators for 6-DOF motions, respectively. Performance evaluation was implemented to verify feasibility of the developed fine stage of the fabricated dual-servo stage. Through the step response test of the fine stage, compensation resolutions for the translational and the rotational motion were confirmed to be less than 10 nm and 1/3 arcsec, respectively. The 6-DOF motion errors in the verification test were reduced by 73% on average.
#Dual-servo stage (이중서보 스테이지) #6-DOF motion errors (6자유도 운동 오차) #Capacitive sensor (정전용량 센서) #Flexure hinge (유연 힌지) #Piezoelectric actuator (압전 구동기) #Error compensation (오차 보정)

목차

1. 서론
2. 미세 구동 스테이지 구조 및 기구학 분석
3. 이중서보 스테이지 제작 및 성능평가
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
Son, S. M., Lim, H. S., and Ahn, J. H., “Effects of the Fiction Coefficient on the Minimum Cutting Thickness in Micro Cutting,” International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 45, Nos. 4-5, pp. 529-535, 2005. google schola Egashira, K., Hosono, S., Takemoto, S., and Masao, Y., “Fabrication and Cutting Performance of Cemented Tungsten Carbide Micro-Cutting Tools,” Precision Engineering, Vol. 35, No. 4, pp. 547-553, 2011. google schola Chae, J., Park, S., and Freiheit, T., “Investigation of microcutting operations,” International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 46, Nos. 3-4, pp. 313-332, 2006. google schola Park, J. S. and Jeong, K. W., “A Study on the Design and Control of an Ultra-Precision Stage,” Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers, Vol. 15, No. 3, pp. 111-119, 2006. google schola Nam, B. U., Kim, K. H., Choi, Y. M., Kim, J. J., Lee, S. W., et al., “Control of Decoupled Type High Precision Dual-Servo,” Journal of the Korean Society of Precision Engineering, Vol. 23, No. 2, pp. 43-50, 2006. google schola

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