다 성분 단일 합금 타겟을 사용하여 질소유량의 변화에 따라 증착한 Mo-Cu-Cr-(N) 박막의 기계적 특성 및 마찰 특성에 대한 연구

김수빈; 박현준; 이선영; 문경일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김수빈 (한국생산성기술연구원) 박현준 (한국생산성기술연구원) 이선영 (한양대학교) 문경일 (한국생산성기술연구원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020년도 한국표면공학회 추계학술대회

발행연도: 2020.12

수록면: 43 - 43 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2020

다 성분 단일 합금 타겟을 사용하여 질소유량의 변화에 따라 증착한 Mo-Cu-Cr-(N) 박막의 기계적 특성 및 마찰 특성에 대한 연구

김수빈 , 박현준 , 이선영 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020.12 학술대회자료

다성분 단일 합금 타겟과 질소유량의 변화에 따라 증착한 Mo-Cu-(N) 박막의 기계적 특성 및 마찰 특성에 대한 연구

김수빈 , 윤혜원 , 문경일 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020.06 학술대회자료

2019

다양한 질소 함량에서 증착된 Mo-Cu-N 코팅의 미세구조 및 마찰특성 분석

김수빈 , 윤혜원 , 이한찬 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019.11 학술대회자료

Cu 첨가가 Mo-Cu-N 코팅의 미세구조와 기계적 특성에 미치는 영향

김수빈 , 윤혜원 , 이한찬 외 2명 한국표면공학회지 2019.08 학술저널

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