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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
정운석 (한국과학기술연구원) 이헌수 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
52 - 52 (1page)

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플라즈마는 기존의 화학적 방법에 비해 탄소 나노 튜브(CNTs)의 표면을 기능화 하는 빠르고 친환경적인 방법입니다. 산업적인 측면에서 대용량 플라즈마 기능화를 위하여, 플라즈마의 침투 메커니즘에 대한 이해를 통한 공정 조건의 최적화가 필요합니다. 그러나 현재까지 플라즈마 침투에 대한 연구는 부족합니다. 따라서, ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548706');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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