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신지현 (부산대학교) 김창호 (부산대학교) 박건우 (부산대학교) 이해준 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
92 - 92 (1page)

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반도체 식각 및 증착 공정에서 공간 균일성과 이온 에너지 조절의 용이성으로 인해 용량성 결합 플라즈마가 일반적으로 많이 사용된다. 이중 주파수 구동을 이용할 경우 이온 반응시간보다 빠른 고주파(HF)와 이보다 느린 저주파(LF) 전압 파형에 전력 배분을 따로 함으로써 기판으로 향하는 이온 에너지와 플럭스의 조절이 가능하고 공정 ... 전체 초록 보기
#용량성 결합 플라즈마 #입자셀 시뮬레이션 #이중 주파수 #이온 에너지 분포

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