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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
배진희 (동아대학교) 조혜민 (동아대학교) 정태훈 (동아대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
93 - 93 (1page)

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대기압에서 구동되는 저온 플라즈마 내 활성 종들은 플라즈마의 방전 조건에 따라 그 생성량이 조절될 수 있다. 이에 펄스 폭에 따른 헬륨 플라즈마의 방전 특성(플라즈마 형태 변화, 온도, 전압-전류 특성, 광 방출 특성)을 알아보고, 시료에 처리하기 적정한 플라즈마 방전 조건을 찾았다. 플라즈마를 액체에 적용하여 액체 내에 발생되는 활성종의 농도(H<sub>2</sub>O<s ... 전체 초록 보기

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