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이우영 (강원대학교) 이병주 (강원대학교) 조성일 (강원대학교) 허성규 (강원대학교) 정구환 (강원대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
164 - 164 (1page)

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본 연구에는 ZnO 나노와이어에 고효율 질소도핑을 위하여 평행평판형 직류 플라즈마 시스템을 이용하였다. 질소 도핑 공정은 0.7 Torr의 질소 분위기에서 플라즈마 파워를 8-20W, 처리시간을 1-50 min으로 변경하여 도핑의 경향을 조사하였다. Raman스펙트럼에서 질소 치 ... 전체 초록 보기

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