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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 164 - 164 (1page)
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본 연구에는 ZnO 나노와이어에 고효율 질소도핑을 위하여 평행평판형 직류 플라즈마 시스템을 이용하였다. 질소 도핑 공정은 0.7 Torr의 질소 분위기에서 플라즈마 파워를 8-20W, 처리시간을 1-50 min으로 변경하여 도핑의 경향을 조사하였다. Raman스펙트럼에서 질소 치 ... 전체 초록 보기
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