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학술대회자료
저자정보
이우영 (강원대학교) 이병주 (강원대학교) 조성일 (강원대학교) 허성규 (강원대학교) 정구환 (강원대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
164 - 164 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2022

플라즈마를 이용한 ZnO의 합성과 질소 도핑에 관한 연구
이우영 협동과정 2022.01 학위논문

2021

플라즈마를 이용한 ZnO 나노와이어의 질소 도핑과 광 센싱 특성 연구
이우영 ,  이병주 ,  조성일 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2021.02 학술대회자료

2019

대기압 마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 ZnO의 합성과 in-situ 질소 도핑
이우영 ,  이병주 ,  조성일 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019.11 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에는 ZnO 나노와이어에 고효율 질소도핑을 위하여 평행평판형 직류 플라즈마 시스템을 이용하였다. 질소 도핑 공정은 0.7 Torr의 질소 분위기에서 플라즈마 파워를 8-20W, 처리시간을 1-50 min으로 변경하여 도핑의 경향을 조사하였다. Raman스펙트럼에서 질소 치^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548813');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#직류 플라즈마 #ZnO 나노와이어 #질소 도핑

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