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곽종현 (울산과학기술원(UNIST)) 김범상 (울산과학기술원(UNIST)) 신흥주 (울산과학기술원(UNIST))
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
73 - 73 (1page)

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We present a simple method capable of improving the electrochemical sensing performances of C-MEMS-based interdigitated electrodes using a sulfuric acid treatment. The sulfuric acid treatment is performed before pyrolyzing pre-patterned SU-8 structures by immersing the polymer structures in a high concentration sulfuric acid solution for several minutes. This simple process can adjust the volume reduction rate of the carbon electrodes during the pyrolysis of the SU-8 patterns while the electrical conductivity is maintained. Thus, the diffusion flux betwee ... 전체 초록 보기
#C-MEMS(카본-멤스) #Sulfuric acid treatment(황산 처리) #Interdigitated electrodes(IDEs, 빗살무늬 전극)

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