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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.5
- 수록면
- 115 - 115 (1page)
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In this research, we propose a novel and low-cost process to fabricate nanostructure arrays on a soft substrate. This process includes self-assembly of polystyrene (PS) particles into monolayer, oxygen reactive ion etching (RIE), thin film deposition, baking, silane treatment, and polydimethylsiloxane (PDMS) replication. A monolayer of etched PS spheres on silicon substrate is used as the template for deposition of chromium (Cr) layer. Depending on the thickness of Cr layer and baking conditions, PS particles could either be removed or remain on a silicon ... 전체 초록 보기
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