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정은창 (서울과학기술대학교) 김광준 (서울과학기술대학교) 최광진 (서울과학기술대학교) 노현찬 (서울과학기술대학교) 한인희 (서울과학기술대학교) 김민욱 (서울과학기술대학교) 지호재 (서울과학기술대학교) 이원준 (서울과학기술대학교) 옥종걸 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
146 - 146 (1page)

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The CVD growth of carbon nanotubes (CNTs) widely employs alumina and Fe layers as supporting and catalyst layers, respectively, to facilitate catalyst dewetting to nanoscale clusters and subsequent nucleation, supersaturation, and extrusion of CNTs. However, as the growth temperature goes high for improving CNT quality and yield, catalyst nanoclusters are prone to adversely interact with alumina layer, impeding steady CNT growth. In particular, this adverse interaction effect becomes more pronounced for micropatterned catalysts having much larger interfacial region with the underlying alumina layer. This study aims to resolve these critical issues for reliable, reproducible, and high-yield production of CNT microarchitectures. Through a systematic investig ... 전체 초록 보기
#Carbon nanotube(탄소나노튜브) #Micropatterned metal catalyst(촉매 금속) #Ostwald-ripening(오스트발트 숙성) #Subsurface-diffusion(기저층 확산)

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