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김태현 (과학기술연합대학원대학교) 배정수 (과학기술연합대학원대학교) 손성호 (과학기술연합대학원대학교) 권창현 (과학기술연합대학원대학교) 김형석 (과학기술연합대학원대학교) 유찬훈 (한국전기연구원) 장성록 (과학기술연합대학원대학교)
저널정보
전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2021년도 전력전자학술대회 논문집
발행연도
2021.7
수록면
203 - 205 (3page)

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본 논문은 TCP (Transformer Coupled Plasma) 반응기 구동을 위한 10kW, 400kHz AC 전원장치의 설계에 대해 기술한다. 개발된 전원장치는 플라즈마의 동적 부하 특성에 대응하기 위한 10kW 프론트-엔드 컨버터와 400kHz AC 인버터로 구성된다. 프론트-엔드 컨버터의 경우 넓은 부하 범위, 고효율 달성 및 출력단과의 절연을 위해 ... 전체 초록 보기

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