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정지영 (한국기계연구원) 윤종원 (한국기계연구원) 조지현 (인하대학교) 한준세 (한국기계연구원) 곽은지 (한국기계연구원) 최두선 (한국기계연구원) 제태진 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
179 - 179 (1page)

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첨단 광학제품에 적용되는 렌즈, 반사경 등은 광경로의 정밀한 제어를 위하여 광학 설계된 표면형상과 동일하게 제조하는 것이 요구된다. 최근 이송분해능 0.1 nm의 초정밀 가공장비가 개발되어 첨단 광학요소부품의 제조에 적용되고 있으나, 절삭공정으로 제조되는 표면형상에는 수십~수백 나노미터 수준의 형상오차가 발생한다. 형상오차의 원인으로는 가공환경의 온도변화에 의한 표면과 공구와의 상대위치 변화가 있으며, 이는 가공경로상에 오차로 작용하여 형상오차를 발생시킨다. 따라서 초정밀 형상가공 위하여 가공환경 온도에 따른 상대변위를 분석하고 이를 보정하는 것이 필요하다. 본 연구에서는 가공환경 온도변화에 따른 상대변위를 보정하여 가공하기 위한 기초 연구로서 온도 변화 주기에 따른 각 축의 상대변위를 분석하고 가공표면의 형상오차와의 관계를 분석하고자 하였다. 초정밀 가 ... 전체 초록 보기
#Diamond turning #Machining error #Environmental temperature

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