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이승후 (서울과학기술대학교) 송대원 (서울과학기술대학교) 이주형 (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
215 - 215 (1page)

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펄스레이저의 펄스 폭 측정 또는 광원의 흡수스펙트럼 측정을 위해 마이켈슨 간섭계(Michelson Interferometer) 기반의 광학 자가상관기는 퓨리에 변환 분광기(Fourier Transform Spectrometer)에 널리 이용되고 있다. 퓨리에 변환분광기는 유해가스 특정 및 농도 측정을 위한 가스 흡수스펙트럼 분석 또는 미세패턴 구조분석을 위한 분광타원계측법 등의 분야에 적용되며 이를 위해 0.1 cm<sup>-1</sup> 이하의 고분해능 퓨리에 변환 분광 기법이 요구된다. 이러한 고분해능의 퓨리에 변환 분광 기법을 위해서는 마이켈슨 간섭계 내의 측정거울을 긴 스트로크(Stroke) 로 선형이송하여 정밀 선형스테이지를 구축해야한다. 이는 근본적으로 자가상관기의 소형화에 제한되며 선형스테이지에 창착된 측정 ... 전체 초록 보기
#Optical autocorrelator #Pulsed laser #Fourier transform spectrometer

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