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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
612 - 612 (1page)

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반도체와 디스플레이로 대표되는 초정밀 제조 산업은 초미세 부품의 생산을 위해 엄격한 치수 정도 관리를 요구하고 있다. 공작물과 공구의 위치·자세와 더불어 가공 장비의 구조적 변형은 부품의 가공 오차를 결정하는 요인으로 작용하므로, 인 프로세스 측정을 통해 이러한 치수 오차를 보상하고자 하는 연구가 널리 수행되어 왔다. 본 연구에서는 매우 짧은 펄스 폭을 갖는 펨토초 레이저 펄스의 비행시간법을 통해 다축 절대거리를 나노미터급 정밀도로 결정할 수 있는 다중 절대거리 측정 시스템을 개발하였으며, 성능 검증 및 응용에 대한 연구를 수행하였다. 편광유지 광섬 ... 전체 초록 보기
#Femtosecond laser #Absolute distance measurement #Time-of-flight

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