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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.8
- 수록면
- 528 - 534 (7page)
- DOI
- 10.5302/J.ICROS.2021.21.0044
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In the integrated circuit/chip manufacturing process, failure analysis performed to find defects utilizes high-resolution chip images obtained through auto-shot scope equipment, which combines microscopy and automatic photography. However, due to the incorrect focus and the unexpected overlap size depending on the distance between the microscope and the chip, these systems are noisy. Thus, failure analysis cannot be performed effectively because the individual conduction the examination is exposed to noisy images, thereby taking a long time. We proposed a system called DeepMerge that utilizes deep learning-based learning-based features such as pint extraction and feature matching to overcome the aforementioned challenges. We will be indicating the effectiveness and efficiency of our system by obtaining practical image data from the industry.
목차
Abstract
I. 서론
II. 관련연구
III. 시스템
IV. 실험
V. 결론
REFERENCES
참고문헌 (21)
참고문헌 신청
J. B. Son and B. S. Lee, “Method for inspecting wafer,” Pat. no. KR1020090036372A, South Korea, 2009.
M. Z. Bonny and M. S. Uddin, “Feature-based image stitching algorithms,” 2016 International Workshop on Computational Intelligence, pp. 198-203, 2016.
C. Harris and M. Stephens, “A combined corner and edge detector,” Alvey Vision Conference, vol. 15. no. 50. 1988.
D. G. Lowe, “Distinctive image features from scale-invariant keypoints,” International Journal of Computer Vision, vol. 60, pp. 91-110, 2004.
E. Rosten and T. Drummond, “Machine learning for high-speed corner detection,” Proc. of European Conference on Computer Vision, pp. 430-443, 2006.
M. Z. Bonny and M. S. Uddin, “Feature-based image stitching algorithms,” 2016 International Workshop on Computational Intelligence, pp. 198-203, 2016.
C. Harris and M. Stephens, “A combined corner and edge detector,” Alvey Vision Conference, vol. 15. no. 50. 1988.
D. G. Lowe, “Distinctive image features from scale-invariant keypoints,” International Journal of Computer Vision, vol. 60, pp. 91-110, 2004.
E. Rosten and T. Drummond, “Machine learning for high-speed corner detection,” Proc. of European Conference on Computer Vision, pp. 430-443, 2006.
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