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김태욱 (철원플라즈마산업기술연구원) 이규항 (철원플라즈마산업기술연구원) 진예진 (철원플라즈마산업기술연구원) 조계영 (철원플라즈마산업기술연구원) 이수민 (철원플라즈마산업기술연구원) 손병구 (철원플라즈마산업기술연구원)
저널정보
한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2021년도 학술대회 [초록집]
발행연도
2021.7
수록면
293 - 293 (1page)

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반도체 제조공정, 중전기기의 냉매에 사용되고 있는 SF6, HFCs 가스는 GWP(Global Warming Potentials)가 높은 온실효과 기여도가 큰 물질이다. 대기 중 체류시간이 길고 매우 안정적인 두 물질을 분해하기 위해서는 높은 에너지를 필요로 한다. DC 플라즈마 토치는 플라즈마 제트의 온도가 약 6,000℃로써 고온환경을 빠르게 구현할 수 ... 전체 초록 보기
#SF6 #HFCs #DC plasma

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