플라즈마 원자층 증착법을 이용한 결정성 구배 TiO₂의 광학적/전기적 특성 제어

고도현; 이재형; 신정우; 박건우; 안지환

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저자정보: 고도현 (서울과학기술대학교) 이재형 (서울과학기술대학교) 신정우 (서울과학기술대학교) 박건우 (서울과학기술대학교) 안지환 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021 한국생산제조학회 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2021.7

수록면: 49 - 49 (1page)

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