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저자정보
양동훈 (인하대학교) 김진영 (인하대학교) 남명성 (인하대학교) 김상섭 (인하대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
112 - 112 (1page)

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휘발성 유기 화합물(VOC)은 인간에게 치명적인 유독성 물질이다. 벤젠과 톨루엔이 이러한 휘발성 유기 화합물에 포함된다. 하지만 이 두 가스들은 반응성이 낮아서 일반적인 산화물반도체 가스센서로 측정하기에는 어렵기 때문에 본 연구에서는 Pd와 Pt 나노입자(NP)로 기능화된 ZnO 나노선을 이용하여 가스센서를 제작하였고, 벤젠과 톨루엔에 대해서 가스 감응 특성을 조사하였다. 제작된 센서들은 상온에서 1-20 V의 전압을 인가하는 자가발열 조건에서 가스감응특성을 조사 ... 전체 초록 보기

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