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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
이춘무 (트리엔) 김규하 (트리엔) 박상준 황규진 (영남대학교) 박상신 (영남대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Tribology and Lubricants 제37권 제4호
발행연도
2021.8
수록면
129 - 135 (7page)

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An air-bearing stage uses externally pressurized air as the lubricant between the stage and the rail. The supporting force generated by the supplied air makes the stage rise and move smoothly with extremely low friction. Mechanical contacts rarely happen, the bearing surfaces do not produce wear particles, and dust is not generated. It also has the advantage of having low energy loss and high precision. Because of its advantages, an air-bearing stage is used in several types of machines that require high precision. In this article, the effect of the pocket depth on the hammering phenomena of the air bearing is studied. An analysis program is developed to calculate the dynamic behavior of the stage by solving the Reynolds equation between the stage and the guideway and the equations of motion on the stage. The acceleration, constant movement, and deceleration are applied to the stage. The stage is modeled as a five-degree-of-freedom system. In the course of the dynamic behavior, the hammering phenomena occur under some special conditions. The deeper the pocket, the more unstable the behavior of the stage, and air hammering occurs when it exceeds a certain depth. In addition, the higher the supply pressure, the more unstable the behavior of the stage. However, hammering occurs even with a shallow pocket depth. Other conditions that affect the hammering phenomena are calculated and discussed.
#air bearing stage(공기베어링 스테이지) #clearance(틈새) #hammering(햄머링) #pocket depth(포켓 깊이)

목차

Abstract
1. 서론
2. 공기 베어링 스테이지의 모델링
3. 해석 결과
4. 결론
References

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
Shengzhou Huang / 2021 / Precise Compensation for Positional Accuracy of Ultra-Precision Air-Bearing Motion Stage Based on the Self-Calibration Method / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 22(6):1039~1048 Crossref Wei Gao / 2006 / Measurement of multi-degree-of-freedom error motions of a precision linear air-bearing stage / Precision Engineering 30(1):96~103 Crossref Seung-Kook Ro / 2010 / A linear air bearing stage with active magnetic preloads for ultraprecise straight motion / Precision Engineering 34(1):186~194 Crossref 박상준 / 2020 / 에어 스테이지의 동적 특성에 미치는 가속도 및 감속도의 영향 / 한국트라이볼로지학회지 36(1):39~46 google schola 류대원 / 2020 / 공기 스테이지의 형상 오차가 운동정밀도에 미치는 영향 / 한국트라이볼로지학회지 36(2):68~74 dbpia

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