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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.1
- 수록면
- 233 - 240 (8page)
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다양한 함량으로 네오디뮴이 도핑된 황화아연 박막제작은 RF 마그네트론 스퍼터링 장비를 이용하여 황화아연과 네오디뮴을 동시 증착하여 박막을 제작하였고, 후처리 공정으로 급속열처리를 400℃에서 30분간 실시하였다. 다양한 네오디뮴의 도핑 함량(0.35at.%, 1.31at.%, 1.82at.% 및 1.90at.%)을 갖는 ZnS 박막의 구조, 형태, 광학적 특성을 연구하였다. X-선 회절 패턴은 모든 박막에서 (111)방향의 큐빅 구조로 성장하였다. SEM 이미지와 AFM 이미지를 통해 네오디뮴 도핑 함량에 의한 박막의 표면 및 구조적 형태에 대하여 설명하였다. EDAX를 통해 다른 불순물이 포함되지 않은 Zn, S 및 Nd의 원소만을 확인하였다. UV-vis 스펙트럼을 이용하여 제작된 박막의 투과율과 밴드갭을 확인하였다.
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김남훈 / 2017 / Rapid Laser Annealing of Cu(In,Ga)Se2 Thin Films by Using a Continuous Wave Nd:YAG Laser ( 0= 532 nm) / Journal of the Korean Physical Society 70(8):809~815
박찬일 / 2020 / 박막태양전지 버퍼층 적용을 위해 RF 스퍼터링 및 급속열처리 공정으로 제작한 황화아연 박막의 구조적 광학적 특성 / 한국전자통신학회 논문지 15(4):665~670
황동현 / 2011 / 기판온도가 ZnS 박막의 구조 및 광학적 특성에 미치는 영향 / 전기전자재료학회논문지 24(9):760~765
R. Zhang / 2008 / Influence of RF power on the structure of ZnS thin filmsss gro wn by sulfurizing F-RF sputter deposited ZnO / Matreials Chemistry and Physics 112(2):557~561
A. M. Monirul Islam / 2009 / CIGS solar cell with MBE-grown ZnS buffer layer / Solar energy materials and solar cells 93(6-7):970~972
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