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목적 : 소다-라임-실리카 유리(soda-lime-silica glass,SG) 기판위에 Ti, Ba-naphthenates를 출발원료로 사용하고 졸겔법으로 나노 결정질 TiO2, BaTiO3 박막을 제조하였다. 박막의 특성을 분석하기 위하여 X-선 회절 분석, 전자현미경, UV스펙트럼을 이용하여 연구하였다. 방법 : 코팅용액을 soda-lime-silica glass 기판 위에 스핀코팅하고 공기분위기에서 500℃에서 열분해시켜 박막을 제조하였다. 제조된 TiO2, BaTiO3 박막의 결정화도는 고분해능 X-선 회절분석법으로 그리고 표면미세구조와 거칠기는 전계 방출 현미경과 원자간력 현미경으로 또 자외선(200〜380 nm), 가시광선(380〜750 nm), 적외선(750〜900 nm) 영역의 투과율은 UV-Visible-NIR 분광광도계로 측정되었다. 결과 : TiO2박막은 아나타제 상이 존재하였으며, BaTiO3 박막은 최고 피크가 확인되지 않았다. 열처리한 TiO2, BaTiO3 박막의 가시광선 투과율은 80% 이상의 투과율을 나타냈으며, BaTiO3 박막은 TiO2 박막보다 자외선 및 청광 차단율이 높았다. 결론 : BaTiO3 박막은 TiO2 보다 자외선 및 청광에 대해 더 높은 차단율이 나타냈으며, 가시광선 투과율은 제조된 모든 박막에서 80% 이상의 투과율이 측정되었다.
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Jeong WT / 2002 / Variations of ferroelectric property of tungsten-doped Bi4Ti3O12 (BIT) thin films
Vorobiev A / 2004 / Microwave loss mechanisms in Ba0.25Sr0.75TiO3 thin film varactors / J Appl Phys Lett 96(8):4642~4949
Srivastava R / 2011 / Effect of substrate on the surface acoustic wave transduction on PZT film / J Ferroelectrics 108(1):21~26
Aegerter MA / 1992 / Ferroelectric thin coatings / J Non-Crystalline Solids 151(3):195~202
Carrano J / 1991 / Electrical and Reliability Properties of PZT Thin Films for Ulsi Dram Applications / IEEE Transaction Ultrasonics Ferroelectrics Frequency Control 38(6):690~703
Vorobiev A / 2004 / Microwave loss mechanisms in Ba0.25Sr0.75TiO3 thin film varactors / J Appl Phys Lett 96(8):4642~4949
Srivastava R / 2011 / Effect of substrate on the surface acoustic wave transduction on PZT film / J Ferroelectrics 108(1):21~26
Aegerter MA / 1992 / Ferroelectric thin coatings / J Non-Crystalline Solids 151(3):195~202
Carrano J / 1991 / Electrical and Reliability Properties of PZT Thin Films for Ulsi Dram Applications / IEEE Transaction Ultrasonics Ferroelectrics Frequency Control 38(6):690~703
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